什么是等离子刻蚀？等离子是如何对材料进行刻蚀的？什么叫刻蚀机？刻蚀工艺的原理和目的？什么是等离子刻蚀？首先是要利用气压为10～1000帕的特定气体（或混合气体）的辉光放电，产生能与薄膜发生离子化学反应的分子或分子基团，生成的反应产物是挥发性的。它在低气压的真空室中被抽走，从而实现刻蚀。通过选择和控制...